在精密零件加工過程中，為了提高氣浮導(dǎo)軌的運動性能，精密零件加工過程可以采用以下三種方法。

1、提高導(dǎo)軌在承載方向上的剛度：導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)設(shè)計上采用閉式導(dǎo)軌，這比單面可提高剛度2倍；減小氣浮間隙ん。并增大力封閉，氣源需穩(wěn)壓供氣、清潔供氣，減小可能發(fā)生的振蕩因素；在供氣回路中要設(shè)計載荷補償機構(gòu)及自動調(diào)壓裝置使ん。變化很小，如圖3-10(a)所示采用DEA公司的10TA型壓力彈簧和R滾輪控制ん。，或者合理布局氣墊讓其自動平衡調(diào)整，對高精度測量機，氣浮的精度（即波動值，ん。變動值）應(yīng)在0.001-0.002mm以內(nèi)。

2、提高導(dǎo)軌運動時的阻尼力：氣墊的孔越多阻尼力越大，剛性也越大，如果采用粉末治金多孔材料作為氣墊，用大面積的微孔代替小孔節(jié)流氣墊，阻尼力會更大。在精密零件加工允許的情況下，可以采用氣-液雙相潤滑，由于導(dǎo)軌接觸面上有油膜存在而增加了阻尼力。

3、采用半氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式：圖3-10（b）所示坐標(biāo)機為氣浮導(dǎo)軌和機械導(dǎo)軌相結(jié)合的形式，利用了兩種導(dǎo)軌運動特性的優(yōu)點，不僅提高了抗端動的能力，又保持了氣浮導(dǎo)軌間隙ん。恒定，且增加了導(dǎo)軌運動的阻尼力，從而提高了導(dǎo)軌的運動性能。